超高真空极低温原位多探针输运测量系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，包括快速进样室、生长室、输运测试室、真空互联系统、系统支架及电源系统，其中快速进样室主要实现大气和超高真空环境之间快速传递样品和针尖；生长室主要在高温下实现指定图案薄膜器件和电极的生长；输运测量室主要实现生长好的薄膜器件在极低温下的原位多探针输运测量；真空互联系统主要实现系统与其他系统的真空连接。本实用新型公开的一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，其可以通过真空环境和制冷技术，能够实现从低温到室温的样品温度控制。
基本信息
专利标题 ：
超高真空极低温原位多探针输运测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921487278.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-06
授权号 ：
CN210775556U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
王文杰
申请人 ：
仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号（中科院三期）17号楼2楼203室
代理机构 ：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张抗震
优先权 ：
CN201921487278.0
主分类号 ：
G01Q60/00
IPC分类号 ：
G01Q60/00 G01Q30/16 G01Q30/10 G01Q70/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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