一种基板贴合装置，包括一贴合治具，其由一对相对应侧壁形成一凹部空间，并在凹部空间的顶面形成一开放顶面，凹部空间连通有一抽气通道；一可挠性基板承托结构，形成在贴合治具的凹部空间中，用以承托一可挠性基板的两端缘，并使可挠性基板的底面与一标的基板的贴合面间具有一预定间距；一软性板，盖覆在贴合治具的开放顶面，以在软性板与贴合治具的凹部空间之间形成一气密贴合舱室。当气密贴合舱室由一真空抽气装置经由抽气通道予以抽真空时，软性板受真空压力作用变形下凹，而将可挠性基板下压，使可挠性基板的底面贴合于标的基板的贴合面。