一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构

专利权的终止

摘要

一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构，包括挡板，所述挡板由数条并排的条形不锈钢带组成，每条不锈钢带的下端均挂设有拉簧。使用时，拉簧的另一端钩设在镀膜设备上固定，使拉簧具有一定的预先拉力，带预拉力的条形不锈钢带可以补偿挡板长度方向上的受热变形。而并置五条条形不锈钢带则可用以补偿挡板宽度方向上的温度差。

基本信息

专利标题：

一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820088064.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-06-05

授权号：

CN201209165Y

授权日：

2009-03-18

发明人：

董学军章浙根王正品

申请人：

宁波华联电子科技有限公司

申请人地址：

315327浙江省慈溪市庵东镇庵东工业园区纬三路宁波华联电子科技有限公司内

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200820088064.1

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/34

溅射

C23C14/35

利用磁场的，例如磁控溅射

法律状态

2017-07-25 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101736583688
IPC(主分类) : C23C 14/35
专利号 : ZL2008200880641
申请日 : 20080605
授权公告日 : 20090318
终止日期 : 20160605

2009-03-18 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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