氮化镓晶圆
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及一种氮化镓晶圆(11)，其具有实质上的圆形。氮化镓晶圆(11)包含：多个条纹区域(13)、多个单晶区域(15)和可目视确认的标记(17)。各条纹区域(13)，表示<11-20>轴的方向且在规定轴方向上延伸。各条纹区域(13)夹在单晶区域(15)之间。标记(17)设在该氮化镓晶圆(11)的表面(11a)及背面(11b)的至少任一面上，具有可识别的大小及形状。条纹区域(13)的错位密度较单晶区域(15)的错位密度大，且条纹区域(13)的结晶取向不同于单晶区域(15)的结晶取向。
基本信息
专利标题 ：
氮化镓晶圆
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101499469A
申请号 ：
CN200910004049.3
公开（公告）日 ：
2009-08-05
申请日 ：
2006-03-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
中山雅博
申请人 ：
住友电气工业株式会社
申请人地址 ：
日本大阪府大阪市
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
谢丽娜
优先权 ：
CN200910004049.3
主分类号 ：
H01L27/00
IPC分类号 ：
H01L27/00 H01L23/544
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
法律状态
2012-01-11 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101262712281
IPC(主分类) : H01L 27/00
专利申请号 : 2009100040493
公开日 : 20090805
号牌文件序号 : 101262712281
IPC(主分类) : H01L 27/00
专利申请号 : 2009100040493
公开日 : 20090805
2009-09-30 ：
实质审查的生效
2009-08-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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