用于使基材在结合之前对准的方法

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摘要

本发明涉及一种用于使具有至少两个第一对准标记的第一基材(7)与具有至少两个第二对准标记(8’)的第二基材(7’)对准的方法，其中，通过第一关联在X方向和在Y方向上使第一对准标记(8)关联于基材(7)的至少两个第一独特的对准特征(9)，通过第二关联在X方向和在Y方向上使第二对准标记(8’)关联于第二基材(7’)的至少两个第二独特的对准特征(9’)并且通过对准借助于第一和第二独特的对准特征(9,9’)在X和Y方向上使第一(8)和第二对准标记(8’)彼此对准。此外，本发明设计一种对应的装置。

基本信息

专利标题：

用于使基材在结合之前对准的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN107646139A

申请号：

CN201680031184.5

公开（公告）日：

2018-01-30

申请日：

2016-06-01

授权号：

CN107646139B

授权日：

2022-04-19

发明人：

V.德拉戈伊

申请人：

EV集团E·索尔纳有限责任公司

申请人地址：

奥地利圣弗洛里安

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

郭帆扬

优先权：

CN201680031184.5

主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/68 H01L21/67