自动修复系统的缺陷检测装置及方法
授权
摘要
本发明公开基板的缺陷检测装置及方法。根据本发明的一方面提供一种缺陷检测装置，该缺陷检测装置用于检测基板的缺陷，其特征在于，包括：基板移送部，沿着预设方向移送上述基板；图像生成部，用于生成基板的图像；单位像素识别部，从上述基板的图像识别上述基板内所包括的单位像素；存储部，用于存储单位像素的基准图像；图像对比部，对所生成的各单位像素的图像和上述存储部内所存储的基准图像进行对比；缺陷检测部，根据对比结果，检测各单位像素内是否存在缺陷；以及控制部，用于控制上述缺陷检测装置内的各构成要素。
基本信息
专利标题 ：
自动修复系统的缺陷检测装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110579477A
申请号 ：
CN201810948050.0
公开（公告）日 ：
2019-12-17
申请日 ：
2018-08-20
授权号 ：
CN110579477B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
安钟植尹汝凛丁炫硕朴世景金芝珉
申请人 ：
HB技术有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭放
优先权 ：
CN201810948050.0
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-01-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20180820
申请日 : 20180820
2019-12-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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