公开一种用于在待测试对象的受试接触点与测试电路的测试接触点之间进行电连接的微机电系统(MEMS)探针。MEMS探针包括：第一端子接触部分；第二端子接触部分，能够靠近和远离第一端子接触部分而移动；以及弹性连接部分，连接第一端子接触部分与第二端子接触部分，弹性连接部分通过第二端子接触部分的接近而弹性变形，且包括在弹性变形方向上堆叠的多个镀覆层。此外，公开一种制作微机电系统探针的方法及测试装置。根据本发明，MEMS探针包括在弹性变形方向上堆叠的多个镀覆层，由此使疲劳失效减少且使耐久性提高。