探针对准设备

授权

摘要

本发明有关于一种探针对准设备，用以将一探针元件对准一待测物。此探针对准设备包括一分光元件与一影像感测装置。其中，分光元件用以设置于待测物与探针元件间。此分光元件具有一第一出光面、一第二出光面与一入光面。第一出光面与第二出光面分别面对探针元件与待测物。影像感测装置设置于分光元件的一入光面。其中，分光元件将第一出光面所接收的一探针元件影像与第二出光面所接收的一待测物影像通过入光面向外发送。影像感测装置撷取探针元件影像与待测物影像以进行对位。

基本信息

专利标题：

探针对准设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111122924A

申请号：

CN201811286959.0

公开（公告）日：

2020-05-08

申请日：

2018-10-31

授权号：

CN111122924B

授权日：

2022-05-17

发明人：

王友延林佳宏翁思渊黄国玮

申请人：

致茂电子(苏州)有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

梁挥

优先权：

CN201811286959.0

主分类号：

G01R1/067

IPC分类号：

G01R1/067 G01C11/02