金刚石合成用的衬底，属于人造晶体合成设备技术领域，包括：衬底基体，具有放置籽晶的接触面；热补偿单元，包括多个设置在衬底基体上的热补偿组件，热补偿组件用于对所述接触面的温度进行温度调节。还提供温度均匀性控制装置，包括：衬底；温度测量组件，用于测量籽晶的实时温度；温度控制器，根据所述温度测量组件测得的籽晶实时温度，控制对应的热补偿组件工作进行热补偿调节。合成设备，该设备具有的反应腔体使用上述金刚石合成用的衬底；和/或，该设备具有上述的温度均匀性控制装置。具有的热补偿组件可以与每一个籽晶相对应，从而对每一个籽晶进行热补偿，从而起到局域温度的控制作用，最终达到整体的温度均匀性，进而显著提升金刚石的良率。