本发明提供一种高分辨率衍射成像方法及装置，包括：步骤S110、根据待测物体的预设透过率函数和预设照明光波函数，以及待测物体与检测器之间的距离，获取所述检测器位置处光的波函数；步骤S120、分离所述检测器位置处光的波函数得到第一振幅和第一相位；步骤S130、根据所述检测器接收到的光强度，以及所述检测器的物理像素和计算样本的尺寸对应关系对所述第一振幅进行修正得到第二振幅；步骤S140、将所述第二振幅与所述第一相位合并形成所述检测器位置处的波前估计；所述计算样本为模拟计算中一个计算像素，所述计算像素的尺寸小于所述检测器的物理像素尺寸。本发明以实现利用像素细分进一步提高重构的图像分辨率，实现弱吸收物体的高对比度高分辨率成像。