一种基于光纤光镊的高精度粒径测量装置及测量方法
授权
摘要
本发明涉及光学精确测量技术领域,特别涉及一种基于光纤光镊的高精度粒径测量装置及测量方法领域。一种基于光纤光镊的高精度粒径测量装置,包括:激光器,数据采集处理系统,光纤环形器,光纤探针,激光器与光纤环形器的输入端口相连,光纤探针与光纤环形器的输出端口相连,数据采集处理系统与光纤环形器的反射输出端口相连。本发明利用基于光纤光镊的反射式双光束干涉,可以实现实时在线检测微纳粒子粒径的变化;采用光纤光镊,使得粒子检测操作更加灵活自由,成本低廉,便于集成化和小型化;采用干涉光强度作为粒子粒径检测标准,可以精确检测小于波长范围的粒子粒径变化,精度可以达到纳米级别。
基本信息
专利标题 :
一种基于光纤光镊的高精度粒径测量装置及测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110793450A
申请号 :
CN201910975783.8
公开(公告)日 :
2020-02-14
申请日 :
2019-10-15
授权号 :
CN110793450B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
张亚勋汤晓云张羽刘志海杨军苑立波
申请人 :
哈尔滨工程大学
申请人地址 :
黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201910975783.8
主分类号 :
G01B11/08
IPC分类号 :
G01B11/08 G01N15/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/08
用于计量直径
法律状态
2022-05-31 :
授权
2020-03-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/08
申请日 : 20191015
申请日 : 20191015
2020-02-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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