一种卧式真空镀膜生产线用基片运输传动装置
授权
摘要
本发明公开了一种卧式真空镀膜生产线用基片运输传动装置，所述运输传动装置包括载架、载盘和呈镜像对称的两平衡传动组件，所述平衡传动组件包括顺次连接的轴座、摆动轴和方形导杆，所述摆动轴的A端与轴座非固定连接，所述摆动轴的B端安装在方形导杆上，所述轴座通过摆动轴相对于方形导杆摆动，所述两平衡组件的轴座对称安装于载架两侧。本发明提供的卧式真空镀膜生产线用传动装置可减小基片架在运输途中的振动，使基片架持续处于水平状态，从而避免在运输过程中因左右不对称而造成“转向”，达到匀速前进的状态，可满足真空镀膜腔室内匀速无尘运输的要求。
基本信息
专利标题 ：
一种卧式真空镀膜生产线用基片运输传动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110643968A
申请号 ：
CN201911081698.3
公开（公告）日 ：
2020-01-03
申请日 ：
2019-11-07
授权号 ：
CN110643968B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
祝海生陈立孙桂红梁红黄国兴黄乐唐洪波唐莲
申请人 ：
湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请人地址 ：
湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号
代理机构 ：
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 ：
张超宇
优先权 ：
CN201911081698.3
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-05-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20191107
申请日 : 20191107
2020-01-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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