一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台
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摘要
本实用新型涉及一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台，包括夹紧法兰，样品台，水冷法兰，密封法兰，升降法兰，电机支架，主动同步带轮，从动同步带轮，弹簧，电机，磁流体，第一导杆，真空室顶板，第二导杆，升降轴组件；夹紧法兰的两端分别固定设置在相互平行的第一导杆、第二导杆的底部；第一导杆和第二导杆自上而下依次设置有升降法兰、密封法兰和水冷法兰；升降轴组件能够抵压或远离升降法兰，在抵压升降法兰时能够使得夹紧法兰与水冷法兰分离；在远离升降法兰时能够在弹簧的作用下使得夹紧法兰带动样品台上升并与水冷法兰相贴合。其具有结构设计合理，可实现基片快速自动夹紧，并且与水冷基片台完全贴合以达到更好的水冷效果等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020558463.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-15
授权号 ：
CN212335276U
授权日 ：
2021-01-12
发明人 ：
魏守冲
申请人 ：
磐石创新（江苏）电子装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市贾汪区徐州工业园区中经一路西侧
代理机构 ：
北京东方昭阳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王云涛
优先权 ：
CN202020558463.0
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-01-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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