一种便捷真空镀膜基片除尘装置
授权
摘要
为了解决纳米真空镀膜前需要对镀件单独除尘，然后再将镀件放入机舱内，从而增加了操作流程，也对工人造成不便，并且放置的过程极有可能造成二次污染，除尘效果差的问题，本实用新型提出一种便捷真空镀膜基片除尘装置，其包括：离子风枪、镀膜伞叶和基片，通过接一个离子风枪，对即将进入真空炉上的镀膜伞叶上的基片进行除尘，随后直接将伞叶推入真空炉进行镀膜处理，工艺操作简单、无需搬运拆装，除尘效果。
基本信息
专利标题 ：
一种便捷真空镀膜基片除尘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021467773.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-23
授权号 ：
CN212821532U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
袁小夫舒本剑
申请人 ：
安徽安合鑫光电科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市苏滁现代产业园泉州路100号苏滁现代工业坊四号厂区10号标准厂房
代理机构 ：
苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹恒涛
优先权 ：
CN202021467773.8
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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