一种真空镀膜除尘装置
授权
摘要
本实用新型属于镀膜加工设备技术领域，尤其为一种真空镀膜除尘装置，包括箱体，所述箱体内设有除尘机构和排尘机构，所述箱体的一侧壁铰接有箱门，所述箱体的上端面固定连接有安装座，所述安装座内滑动连接有滑动块；需要将除尘机构和排尘机构拆除时，通过拉动连接架内的滑动块，解除对箱门的限位，之后通过电动推杆收缩使得连接架从连接架中脱出解除对除尘机构的挤压，然后即可将除尘机构上拉取出，之后将连接架内的连接架拧转取下，之后将排尘机构向电动推杆的方向拉动，此时即可将排尘机构取出，从而使得本方案再结构简单减少维护作业的同时，也方便于后续对除尘机构和排尘机构的清理，防止镀膜时的二次污染。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜除尘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022058678.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
CN213895974U
授权日 ：
2021-08-06
发明人 ：
苏文校
申请人 ：
东莞市优上纳米科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇上沙社区华强路6号A栋三楼
代理机构 ：
广东有知猫知识产权代理有限公司
代理人 ：
李志海
优先权 ：
CN202022058678.9
主分类号 ：
C23C14/02
IPC分类号 ：
C23C14/02 B08B5/02 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/02
待镀材料的预处理
法律状态
2021-08-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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