一种翻转式制备三维原子探针样品的方法
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摘要

本发明属于材料制备领域,特别是一种翻转式制备三维原子探针样品的方法。包括具体如下步骤:标记平面块状样品的感兴趣区域;在平面块状材料上表面,垂直于感兴趣区域方向沉积一层长方形Pt层;提取类四棱柱长条样品:采用原位纳米操纵杆进行提取;翻转类四棱柱长条样品:将步骤3提取的类四棱柱长条样品转移至转动针尖上,采用外置的转动装置将针尖翻转,然后再将翻转后的类四棱柱长条样品转移至原位操作纳米操纵杆上;成形针尖样品。本申请通过将类四棱柱长条样品翻转180°后成尖,实现对多层结构材料和感兴趣区域距离表面较深的材料的针尖制备,所制备的针尖样品利于在三维原子探针设备中正常收集。

基本信息
专利标题 :
一种翻转式制备三维原子探针样品的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110850116A
申请号 :
CN201911087956.9
公开(公告)日 :
2020-02-28
申请日 :
2019-11-08
授权号 :
CN110850116B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
安志恒胡蓉吴杏苹沙刚靳慎豹
申请人 :
南京理工大学
申请人地址 :
江苏省南京市孝陵卫200号
代理机构 :
南京理工大学专利中心
代理人 :
赵毅
优先权 :
CN201911087956.9
主分类号 :
G01Q30/20
IPC分类号 :
G01Q30/20  G01Q60/24  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01Q
扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术
G01Q30/00
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段,例如显示或数据处理装置
G01Q30/20
样品处理装置或方法
法律状态
2022-05-13 :
授权
2020-03-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 30/20
申请日 : 20191108
2020-02-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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