一种基于分离式光栅的测量装置
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摘要

本实用新型提供一种基于分离式光栅的测量装置,包括控制模块、基座、平面移动平台、光栅刚体以及光栅读数头和测头,所述光栅刚体上开设有穿孔,所述测头与所述光栅刚体的栅面位于同一平面,所述光栅刚体上设置有两组以上的栅线组,所述栅线组包括多条相互平行且等间距依次排列的栅线,所述光栅读数头的数量与所述栅线组的数量相同,各所述光栅读数头与各所述栅线组一一对应布置,且所述测头与所述光栅读数头之间的连线和与该光栅读数头对应的所述栅线组中的所述栅线垂直布置。本实用新型实现了零阿贝误差设计,对导向元件的精度要求相对较低,成本也相对较低;同时,环境适应性较强,适用范围相对较广。

基本信息
专利标题 :
一种基于分离式光栅的测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920424850.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-03-29
授权号 :
CN209512777U
授权日 :
2019-10-18
发明人 :
程方余卿崔长彩邹景武叶瑞芳王寅
申请人 :
华侨大学
申请人地址 :
福建省泉州市丰泽区城东华侨大学
代理机构 :
泉州市文华专利代理有限公司
代理人 :
郭若山
优先权 :
CN201920424850.2
主分类号 :
G01B11/03
IPC分类号 :
G01B11/03  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/03
通过测量各点的坐标
法律状态
2019-10-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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