一种用于生产多晶硅的超大型反应器
授权
摘要

本实用新型公开了一种用于生产多晶硅的超大型反应器,属于多晶硅生产技术领域。它包括炉体、炉体底部设置的底盘以及底盘上排布的电极,电极上设置有伸入到炉体的内腔中的硅芯,底盘上还设置有进气孔和出气口,进气孔排布在内外相邻的电极之间,底盘上还排布有伸入到炉体的内腔中的导流器,各个导流器与各个进气口相互对应并使得导流器与进气口连通,所述导流器的表面上开设有出流孔。本实用新型实施的优点是:确保了外圈硅棒生长的均一性,有效降低了热量辐射的损失;通过合理分布导流孔,强化腔体顶部热流层的流动,保证硅芯各高度上的温度和反应速度保持一致,这样改善了产品表面质量,并降低了能耗。

基本信息
专利标题 :
一种用于生产多晶硅的超大型反应器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920436023.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-02
授权号 :
CN211035255U
授权日 :
2020-07-17
发明人 :
洪钰张云天
申请人 :
江苏东方瑞吉能源装备有限公司
申请人地址 :
江苏省镇江市新区临江西路60号
代理机构 :
镇江京科专利商标代理有限公司
代理人 :
夏哲华
优先权 :
CN201920436023.5
主分类号 :
C01B33/035
IPC分类号 :
C01B33/035  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下,或在存在热硅棒情况下,用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2020-07-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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