一种磁电阻惯性传感器芯片
授权
摘要
本实用新型公开一种磁电阻惯性传感器芯片，包括基底、振动隔膜、感应磁电阻、至少一个永磁薄膜，振动隔膜覆盖在基底的一侧表面，感应磁电阻和永磁薄膜设置于振动隔膜远离基底的表面，在振动隔膜远离基底的表面还设置有接触电极，感应磁电阻通过连接引线与接触电极连接；基底包括刻蚀形成的空腔，感应磁电阻与永磁薄膜之一或者全部设置于空腔在振动隔膜的垂直投影区域内。本实用新型磁电阻惯性传感器芯片的永磁薄膜产生的磁场在感应磁电阻的灵敏度方向分量产生变化，使感应磁电阻的阻值产生变化，造成输出电信号变化。本实用新型利用磁电阻的高灵敏度及高频响特性，提高输出信号强度及频率响应，有利于微弱压力、振动或加速度及高频振动的检测。
基本信息
专利标题 ：
一种磁电阻惯性传感器芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920437962.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-02
授权号 ：
CN209605842U
授权日 ：
2019-11-08
发明人 ：
祁彬丰立贤郭海平沈卫锋薛松生
申请人 ：
江苏多维科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号E栋
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201920437962.1
主分类号 ：
G01D5/16
IPC分类号 ：
G01D5/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/12
采用电或磁装置
G01D5/14
影响电流或电压的大小
G01D5/16
通过改变电阻
法律状态
2019-11-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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