一种平面三自由度全柔性并联定位平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种平面三自由度全柔性并联定位平台，包括柔性并联机构和音圈电机。柔性并联机构包括通过线切割一体化加工的外固定框、三个呈正三角形排列布置的柔性支链和位于中心的正三角形动平台。每个柔性支链的下方设有一个音圈电机，每个音圈电机的电机动子通过对应的柔性支链与正三角形动平台的顶点柔性连接，各个音圈电机输入电流，可实现正三角形动平台在XOY平面内沿X向、Y向的平动以及绕Z向的转动。本实用新型的优点在于：高分辨率、结构紧凑、低惯量、无误差累积、无磨损、无机械间隙、无需装配，在实现大行程定位的同时具有高的定位精度与高的固有频率；可作为超精密加工、微电子集成制造等微/纳米操作系统的辅助定位平台。
基本信息
专利标题 ：
一种平面三自由度全柔性并联定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920466580.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-09
授权号 ：
CN209774584U
授权日 ：
2019-12-13
发明人 ：
张驰杨宝余宏涛杨淼杨桂林
申请人 ：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区中官西路1219号
代理机构 ：
宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
单英
优先权 ：
CN201920466580.1
主分类号 ：
B25H1/14
IPC分类号 ：
B25H1/14 B25J9/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25H
车间设备，例如用于工件划线；车间储存设备
B25H1/00
工作台；用于放置轻便工具或工件的轻便台座或支架，在台座或支架上操作工作
B25H1/14
有调节台顶的装置
法律状态
2019-12-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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