本申请公开了一种夹具及原子层沉积装置，夹具包括相对设置的两块侧板，两块侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块端板和两块侧板围合成两端开口的容腔，端板可移动地固定连接有活动板，活动板的移动方向为靠近或者远离任一侧板；原子层沉积装置包括真空腔，真空腔内设置有样品台，真空腔分别连接有真空泵、第一气体喷射部、第二气体喷射部以及第三气体喷射部，样品台用于放置夹具，通过夹具固定电池片，将电池片切割部分从容腔的开口露出，侧板和端板保护电池片未切割部分，对电池片的切割部分进行原子层沉积，在电池片的切割部分形成钝化膜，提升切割后电池片的电性能，修复电池片由于切割造成的损伤。