本申请涉及一种高沉积合格率的OVD沉积装置，包括：沉积箱体、支撑结构、夹头杆固定结构、喷灯、抽风系统；其中，支撑结构设置于沉积内腔内一侧，包括固定座、滑动环、固定管、压紧件，用于固定预制棒疏松体或者芯棒的一端，夹头杆固定结构设置于沉积内腔内另一侧，包括用于固定预制棒疏松体或者芯棒另一端的夹头杆，夹头杆与驱动装置连接并能够受驱动装置驱动而发生旋转。本申请的OVD沉积装置的使得预制棒疏松体或者芯棒无法在滑动轴承支撑结构内滑动或从轴承支撑结构内滑出，从而保证了整个预制棒疏松体或者芯棒不来回移动或滑出夹具，提升了预制棒疏松体或者芯棒的沉积合格率。