一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置
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摘要
一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置，包括用于支撑整个干燥装置的机架、固定在机架上的隧道炉、设于隧道炉顶部的FFU干燥装置、用于装载硅片的花篮和用于将花篮移入隧道炉内进行干燥的干燥移栽机构；机架上、隧道炉的两侧分别为上料位和下料位，隧道炉的上料位侧设有隧道炉入料门装置，隧道炉的下料位侧设有隧道炉出料门装置。本实用新型通过花篮装载硅片有助于对硅片进行保护，降低了硅片的损伤概率。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920788135.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-29
授权号 ：
CN209859929U
授权日 ：
2019-12-27
发明人 ：
陈国龙
申请人 ：
深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华新区大浪街道华旺路和科达工业园3号厂房三楼
代理机构 ：
深圳市顺天达专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭伟刚
优先权 ：
CN201920788135.7
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18 F26B15/14 F26B21/00 F26B25/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2019-12-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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