一种光伏电池用硅片载具清洗设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种光伏电池用硅片载具清洗设备，包括工作台、移动模组、和清洗机构，移动模组设于工作台上，清洗机构设于移动模组上，清洗机构包括激光发生器、光学整形镜组、聚焦透镜和扫描振镜，激光发生器通过光纤与光学整形镜组连接，光学整形镜组用于将激光发生器生成的激光整形成平行光束，聚焦透镜用于对整形后的激光进行聚焦，扫描振镜用于接收聚焦后的点光束，并带动点光束移动。本实用新型采用激光清洗方式实现板框的沉积薄膜去除，清洗效率高，不会对环境造成污染。
基本信息
专利标题 ：
一种光伏电池用硅片载具清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121769605.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-30
授权号 ：
CN216397396U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
郭观林张威李斯李斌
申请人 ：
湖南红太阳光电科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
戴玲
优先权 ：
CN202121769605.9
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 H01L31/18 H01L21/673
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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