用于探针台的晶圆防滑出结构
授权
摘要
本实用新型属于晶圆测试设备的技术领域，公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其技术方案要点是包括成对设置的第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂与片盒升降机构的上表面固接，所述第二支撑臂与晶圆匣的框体底面相抵，第二支撑臂一端与第一支撑臂铰接，另一端与第一支撑臂之间设有第三支撑臂，所述第三支撑臂位于晶圆匣的晶圆入口一端，具有能够有效防止晶圆从晶圆匣内滑出，避免晶圆磕碰在机架上的效果。
基本信息
专利标题 ：
用于探针台的晶圆防滑出结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920882104.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-12
授权号 ：
CN210181085U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
陈超
申请人 ：
无锡新微阳科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920882104.8
主分类号 ：
G01R1/04
IPC分类号 ：
G01R1/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳；支承构件；端子装置
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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