芯片表面清洁检测机构
授权
摘要
本实用新型涉及自动化清洁检测设备技术领域，尤其是指一种芯片表面清洁检测机构，所述清洁模组包括清洁机械手、驱动清洁机械手上下运动的第一驱动装置、安装底座、装设于安装底座的洁具安装台和驱动安装底座靠近或远离清洁机械手的第二驱动装置，所述机架固定连接有承载板、第一视觉检测装置和第二视觉检测装置，其中承载板位于清洁机械手的上方，第一视觉检测装置穿接承载板向下延伸，第二视觉检测装置连接第一视觉检测装置的末端，所述承载板上侧面装设有第三视觉检测装置以及环形布设于承载板的若干个光照组件，本机构自动化程度高，实时检测产品清洁情况，且具有智能控制清洁机械手向下移动的距离，达到灵活、高精度高质量的清洁效果。
基本信息
专利标题 ：
芯片表面清洁检测机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920946376.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-23
授权号 ：
CN210198989U
授权日 ：
2020-03-27
发明人 ：
冯文灿张华
申请人 ：
东莞广达智能科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖园区科技二路10号1栋1单元305室
代理机构 ：
深圳华奇信诺专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
范亮
优先权 ：
CN201920946376.X
主分类号 ：
G01N21/94
IPC分类号 ：
G01N21/94 B08B1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/94
研究污染，例如灰尘
法律状态
2020-03-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
