制品
授权
摘要
本公开的实施例涉及制品、被涂覆的制品，所述制品包括：主体；含稀土金属的氟化物涂层，所述含稀土金属的氟化物涂层在所述主体的表面上；以及缓冲层，所述缓冲层在所述主体的所述表面上，其中所述含稀土金属的氟化物涂层覆盖所述缓冲层。
基本信息
专利标题 ：
制品
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921137461.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-18
授权号 ：
CN212357383U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
邬笑炜J·Y·孙M·R·赖斯
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN201921137461.8
主分类号 ：
C23C16/30
IPC分类号 ：
C23C16/30 C23C16/455
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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