一种高基频石英MASE晶片检测装置，包括底座，所述底座上设置有晶片支撑台，所述晶片支撑台通过水平调节器固定在支撑台基座上，所述晶片支撑台的下方设置有测试下探针和下探针上下调节器，其特征在于：所述晶片支撑台两侧的底座上分别安装有左支架和右支架，所述右支架上安装有光学放大镜，所述左支架上安装有高精度螺旋调节器，所述高精度螺旋调节器的底部安装有测试上探针，所述测试上探针位于晶片支撑台的正上方。本实用新型结构简单、操作方便、检测效率高、晶片破损率低。