一种单晶提拉炉的加热装置

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摘要

本实用新型公开了一种单晶提拉炉的加热装置,包括石墨加热器，所述石墨加热器的内壁放置有石英坩埚，所述石墨加热器通过合页连接有上盖，所述上盖设有热气循环槽，所述热气循环槽内固定装设有两个风扇，所述两个风扇之间固定有进气窗口，所述石墨加热器的外壁固定包裹有隔热层，所述隔热层的下方设置有凸轮机槽。本实用新型通过凸轮机带动提拉炉在工作时在工作时往复摆动，带动多晶块翻滚，与炉内的高温热气充分接触，提高了熔化效率，上盖设置的热气回流装置将炉顶的热气通过风扇导回炉底，避免热气上升都堆积在炉顶导致炉内温度不均匀，提升了提拉炉的安全性，同时隔热层有效避免了石墨加热器工作时的温度散失，减少了熔化过程所需的时间。

基本信息

专利标题：

一种单晶提拉炉的加热装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921222983.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-31

授权号：

CN210711821U

授权日：

2020-06-09

发明人：

马立强张世平闫志祥

申请人：

焦作晶锐光电有限公司

申请人地址：

河南省焦作市山阳区焦辉路3033号科创中心四层401室5号

代理机构：

焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

秦贞明

优先权：

CN201921222983.8

主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B15/14