一种新型真空镀膜室
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摘要
本实用新型公开了一种新型真空镀膜室，包括筒身，筒身两侧的底部分别开设有真空口和氩气口，筒身一侧的顶部固定设有气压表，筒身的正面铰接有密封门，筒身两侧的内壁分别固定设有相互串联的阴极和阳极，筒身内部的底端通过轴承与转轴的底端转动连接，转轴的底部、中部和顶部均固定设有托板，本实用新型一种新型真空镀膜室，通过减速电机驱动转轴转动，可以使支撑条上的物料与转轴同步转动，物料在筒身内部做圆周运动，从而避免了物料镀膜效果不均匀的现象，提高了对物料的镀膜质量，通过真空口便于抽取筒身内部的空气，使筒身的内部处于真空状态，通过氩气口便于往筒身内输送氩气。
基本信息
专利标题 ：
一种新型真空镀膜室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921292758.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-09
授权号 ：
CN210215537U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
何磊穆义林王波曾兵聂宏波叶海铭陈睿
申请人 ：
中建材（内江）玻璃高新技术有限公司
申请人地址 ：
四川省内江市资中县水南镇凤翔东路2号
代理机构 ：
成都正华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李蕊
优先权 ：
CN201921292758.1
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/56 C23C14/34
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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