一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座
授权
摘要
本实用新型涉及隔振基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座，包括支撑板，支撑板下端设置有若干均匀分布的横梁柱，横梁柱上设置有若干均匀分布的支撑装置，支撑装置包括横撑杆、立柱和X型支架，立柱的上端端部开设有方形凹槽，横梁柱贯穿立柱的方形凹槽，立柱中嵌入有若干均匀分布的吸收装置，吸收装置包括定位座、牵制体、控制球、压力壳体和弹簧，本实用新型构造设计实现震动能量被若干吸收装置高效稳定的吸收，同时定位座的圆锥状设计不会影响立柱的支撑稳定性，这样避免震动通过基座影响到电子无尘室中的机器设备，对装置进行保护，提高无尘室的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921316492.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN210600709U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
商富祥商富彬
申请人 ：
江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市大丰区刘庄镇工业集中区
代理机构 ：
南京常青藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
毛洪梅
优先权 ：
CN201921316492.X
主分类号 ：
F16M5/00
IPC分类号 ：
F16M5/00 F16F15/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架
F16M5/00
发动机底座，即在基础上支承发动机或机器的设备
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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