一种晶棒V型槽定向检测装置
授权
摘要
本实用新型公开一种晶棒V型槽定向检测装置，包括底座，所述底座上旋转有旋转台，所述旋转台表面设有进出料导轨，所述进出料导轨上滑动有工作台，所述工作台上设有晶棒夹持机构以及若干个沿晶棒夹持机构上晶棒径向设置的定向导轨，所述定向导轨环绕所述晶棒夹持机构设置，且定向导轨上通过驱动机构控制滑动有V型槽定向机构；所述底座上设有环绕所述旋转台设置的检测装置。本实用新型结构简单，能够快速准确检测V型槽开槽准确度，保证精度，适用于各种不同尺寸的晶棒。
基本信息
专利标题 ：
一种晶棒V型槽定向检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921321652.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN210376192U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
邹建周小勇
申请人 ：
扬州合晶科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市经济技术开发区马泊河路6号
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
潘云峰
优先权 ：
CN201921321652.X
主分类号 ：
G01N23/20025
IPC分类号 ：
G01N23/20025
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/20
利用材料辐射的衍射，例如，用于测试晶体结构；利用材料辐射的散射，例如测试非晶材料；利用材料辐射的反射
G01N23/20008
分析仪零件结构，例如其特征在于X射线源、检测器或光学系统；其配件；样品制备
G01N23/20025
样品固定架或支架
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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