一种用于砷化镓生产的热场装置

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摘要

本实用新型公开了一种用于砷化镓生产的热场装置，包括炉体、保温筒和石墨加热器，所述炉体内腔设置有保温筒，保温筒内壁设置有石墨加热器,石墨加热器内壁设置有坩埚，坩埚底部设置有坩埚托架，坩埚托架底部设置有坩埚托杆,所述保温筒顶端设置有导流筒，导流筒出口处位于坩埚内腔，所述保温筒底部设置有保温板，使用时，通过启动电机，使得收线轮转动，从而将绳索进行收紧，从而将保温筒升起，从而避免了动用人工将保温筒抬起，进而节省了大量人力物力，且有效的避免了对保温筒造成的损伤，提高了保温筒的使用寿命，通过设置的防漏板及密封圈,有效的避免了高温硅液泄漏接触热场其余组件。

基本信息

专利标题：

一种用于砷化镓生产的热场装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921364332.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-21

授权号：

CN211036183U

授权日：

2020-07-17

发明人：

兰少东

申请人：

江苏中科晶元信息材料有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市张家港市塘桥镇（江苏张家港新能源产业园商城路）江苏中科晶元信息材料有限公司

代理机构：

苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

汤婷

优先权：

CN201921364332.2

主分类号：

C30B29/42

IPC分类号：

C30B29/42 C30B35/00