一种砷化镓的多晶合成装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种砷化镓的多晶合成装置，包括炉膛和反应容器，所述炉膛前后两侧沿竖直方向固定有多个电加热器，所述炉膛底部内侧固定连接有固定夹板。有益效果在于：本实用新型通过半球形密封帽部分陷入固定夹板的方式固定下腔，同时通过活动夹板下降使半球形密封帽部分陷入活动夹板固定上腔，并通过拉杆卡入限位孔的方式实现活动夹板与固定夹板相对高度的锁止，以此通过活动夹板和固定夹板配合竖直固定反应容器，实现了通过可拆卸的安装方式来代替通过加装螺钉将反应容器装入炉膛的固定方式，拆装操作方便且省时省力，便于反应容器在炉膛内的快速拆装，有利于提升砷化镓的多晶反应效率。
基本信息
专利标题 ：
一种砷化镓的多晶合成装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920727199.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-21
授权号 ：
CN210215615U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
代晓波
申请人 ：
独山中科晶元信息材料有限公司
申请人地址 ：
贵州省黔南布依族苗族自治州独山县麻万镇麻抹组独山中科晶元
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
谈杰
优先权 ：
CN201920727199.6
主分类号 ：
C30B29/42
IPC分类号 ：
C30B29/42 C30B28/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
C30B29/42
砷化镓
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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