一种砷化镓晶圆合成加热装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了砷化镓合成加热装置技术领域的一种砷化镓晶圆合成加热装置,包括固定底座,所述固定底座顶部固定连接有加热室,所述加热室内侧壁上固定连接有两个隔温板;本发明通过在每次对砷化镓进行加热制备过程中,先利用涡旋加热管对生长管进行圆周型快速加热,降低对材料的加热时间,提高生产的效率,并且利用驱动装置和提升装置使生长管在下降过程中,配合涡旋滑轨和第一滑杆,使生长管转动,使材料能进行混合,有利于生长管内的材料能被快速加热,并利用分隔板和开合机构,使加热室内形成阶梯型较为准确的温度腔室,有利于生长管内的材料进行稳定的结晶,避免由于温度不确定使得在结晶过程中出现较多杂质的现象。

基本信息
专利标题 :
一种砷化镓晶圆合成加热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114411239A
申请号 :
CN202210087791.0
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
袁永
申请人 :
苏州诺富微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹西路99号第3幢A区601室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210087791.0
主分类号 :
C30B11/00
IPC分类号 :
C30B11/00  C30B29/42  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B11/00
正常凝固法或温度梯度凝固法的单晶生长,例如晶体生长坩埚下降法Bridgman-Stockbarger法
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 11/00
申请日 : 20220125
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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