镀膜装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
一种镀膜装置，其包括蒸发腔室以及固定在所述蒸发腔室的外表面上的支撑板，所述镀膜装置还包括与所述支撑板固定在一起的滑动元件以及与所述滑动元件相配合的导向元件，所述滑动元件能够在所述镀膜装置受热变形时沿平行于所述蒸发腔室的轴向的方向而相对所述导向元件移动，以补偿温度变形。
基本信息
专利标题 ：
镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921505179.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-11
授权号 ：
CN210620936U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
王凯何宝东宋文庆张建飞
申请人 ：
苏州沃盾纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市花桥镇金洋路15号1号楼
代理机构 ：
苏州佳博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗宏伟
优先权 ：
CN201921505179.0
主分类号 ：
C23C16/54
IPC分类号 ：
C23C16/54
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/54
连续镀覆的专用设备
法律状态
2021-03-09 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 16/54
登记生效日 : 20210223
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 苏州沃盾纳米科技有限公司
变更后权利人 : 立讯电子科技（昆山）有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215300 江苏省苏州市昆山市花桥镇金洋路15号1号楼
变更后权利人 : 215324 江苏省苏州市昆山市锦溪镇锦昌路158号
登记生效日 : 20210223
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 苏州沃盾纳米科技有限公司
变更后权利人 : 立讯电子科技（昆山）有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215300 江苏省苏州市昆山市花桥镇金洋路15号1号楼
变更后权利人 : 215324 江苏省苏州市昆山市锦溪镇锦昌路158号
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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