本实用新型涉及一种镀膜装置。镀膜装置用于制造异质结太阳能电池片的透光导电膜，镀膜装置包括壳体、阳极板和阴极板、射频电源发生器。壳体内具有中空的腔室且腔室能够被抽真空；阳极板和阴极板设置在腔室内且阳极板和阴极板之间存在间隔以使得用于制造透光导电膜的靶材能够容纳在该间隔处；射频电源发生器设置在壳体外并与阳极板、阴极板电连接，并且射频电源发生器被构造为能够向阳极板、阴极板供直流电和交流电。根据本实用新型，在制造透光导电膜时，在用直流电生成高浓度的电浆之后通过施加交流电场来向电浆提供反向加速度，从而降低透光导电膜的能量，在透光导电膜施加到非晶硅层时避免对非晶硅层的伤害。