镀膜装置
授权
摘要
一种镀膜装置，用于利用化学单体气体的聚合在待镀膜工件的表面形成聚合物膜层。该镀膜装置包括一镀膜主体和二进料蒸发装置，该二进料蒸发装置包括具有腔室和加热安装部的一蒸发器主体和一管路组件。该腔室用于容纳该化学单体液体，其中该加热安装部用于安装该加热装置，以使该加热装置加热在该腔室内的该化学单体液体，使得该化学单体液体被蒸发成该化学单体气体。该管路组件包括第一进料管路、第二进料管路以及出料管路，其中该第一进料管路和该第二进料管路分别连通于该蒸发器主体的该腔室，用于分别向该腔室输送该化学单体液体，其中该出料管路连通于该蒸发器主体的该腔室，用于将蒸发获得的该化学单体气体从该腔室输送出来。
基本信息
专利标题 ：
镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021509120.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
CN214211175U
授权日 ：
2021-09-17
发明人 ：
宗坚
申请人 ：
江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
骆苏华
优先权 ：
CN202021509120.1
主分类号 ：
B05D1/00
IPC分类号 ：
B05D1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D1/00
涂布液体或其他流体的工艺
法律状态
2021-09-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
