一种与手套箱对接的真空腔体结构
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摘要
本实用新型公开了一种与手套箱对接的真空腔体结构，包括真空室和惰性气体手套箱，真空室和惰性气体手套箱紧密贴合，且真空室和惰性气体手套箱之间设有侧滑门板，固定板整体通过连接件连接有真空室门板，固定板和真空室门板之间定装配有锁紧装置。通过在真空室与惰性气体手套箱之间设置可以滑动的真空室门板，方便惰性气体手套箱与真空室进行对接，让真空腔体一直处于惰性气体的保护状态下，可以有效提高腔体抽真空的时间，有效避免腔体腔体被污染，降低高真空状态下腔体内氧气等的含量，更换样品、沉积材料和沉积器皿等更加方便，而且比圆法兰对接的方式节省整体设备的占地空间。
基本信息
专利标题 ：
一种与手套箱对接的真空腔体结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921521047.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-12
授权号 ：
CN210551362U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
钱进韩晓张晗
申请人 ：
沈阳奇汇真空技术有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市沈北新区蒲文路16-69号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921521047.7
主分类号 ：
B25J21/02
IPC分类号 ：
B25J21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J21/00
带操纵装置的容器
B25J21/02
手套式操作箱，即用人手放入装在容器壁上的手套中操纵机械手的容器；所用的手套
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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