一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置，包括：电源系统，所述电源系统包括脉冲电源，所述脉冲电源能够输出脉冲直流电压，所述脉冲直流电压具有正向偏置，所述脉冲电源的正极连接阳极，所述脉冲电源的负极连接工具电极；工作液系统，所述工作液系统包括加工槽，所述加工槽用以盛装电解液，在工作状态时，所述阳极和所述工具电极均位于所述电解液中。本实用新型通过采用能够输出具有正向偏置的脉冲直流电压的脉冲电源，能够抑制工具电极的消耗，工件不需要接入电源，不受工件材料本身导电性能的影响，能够实现导电材料和非导电材料高效率、高精度、高表面质量加工。
基本信息
专利标题 ：
一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921620592.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN211438466U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
詹顺达赵永华
申请人 ：
南方科技大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
刘方
优先权 ：
CN201921620592.1
主分类号 ：
B23H5/02
IPC分类号 ：
B23H5/02 B23H11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23H
用电极代替刀具，以电流高度集中的作用在工件上的金属加工；这种加工与其他方式的金属加工的组合
B23H5/00
组合加工
B23H5/02
放电加工与电化加工组合
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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