曝光机自动上下料机的归零装置及其曝光机上下料机
授权
摘要
本实用新型适用于位置归零设备技术领域，提供了一种曝光机自动上下料机的归零装置及其曝光机上下料机，归零装置包括：横向运输单元，其包括横向运输组件以及第一驱动组件，所述横向运输组件由多组并排设置的滚轮组件组成，并且相邻的两组滚轮组件间隔有预定宽度的间隙；所述第一驱动组件与所述横向运输组件联动连接；横向定位单元包括归零挡板；纵向运输单元包括纵向归零推动件以及第二驱动组件，所述纵向归零推动件由所述间隙中向上方伸出；控制单元包括控制器，所述控制器与所述第一驱动组件以及第二驱动组件通信连接。借此，本实用新型的曝光机自动上下料机的归零装置及其曝光机上下料机，实现了自动将产品移动至归零位置。
基本信息
专利标题 ：
曝光机自动上下料机的归零装置及其曝光机上下料机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921643721.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-29
授权号 ：
CN210626878U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
唐伟雄唐琦
申请人 ：
深圳市兆方智能科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明新区公明办事处薯田埔社区新兴工业区第51栋2楼B区
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱远平
优先权 ：
CN201921643721.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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