一种单晶硅片用可调检测装置
授权
摘要

本实用新型提供一种单晶硅片用可调检测装置,包括工作单元和置于所述工作单元上方的检测单元,所述工作单元包括用于放置硅片的工作台;所述检测单元包括用于固定激光束并可调节所述激光束位置的框架组件和用于固定相机并可调节所述相机位置的固定组件,所述框架组件置于所述工作台上方侧面,所述固定组件置于所述工作台正上方。本实用新型设计的检测装置,尤其是适用于不同直径硅片的PL检测,可根据不同直径的硅片,进行自行调节相机和激光束的位置,快速准确地进行配位,自动化程度高,保证硅片缺陷检测的准确性,提升工作效率,降低生产成本。

基本信息
专利标题 :
一种单晶硅片用可调检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921785844.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-23
授权号 :
CN211374559U
授权日 :
2020-08-28
发明人 :
刘效斐栗钢李耀龙李延彬梁山徐强高润飞王林谷守伟
申请人 :
内蒙古中环光伏材料有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN201921785844.6
主分类号 :
G01N21/95
IPC分类号 :
G01N21/95  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2020-08-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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