单晶硅检测样片专用石英舟

授权

摘要

一种单晶硅检测样片专用石英舟，包括第一连接板、第二连接板、检测样片支撑杆、防变形固定件，第一连接板、第二连接板对向设置，检测样片支撑杆设置在第一连接板、第二连接板之间，检测样片支撑杆的两个端部分别与第一连接板、第二连接板相连接，检测样片支撑杆上设置有卡槽，检测样片支撑杆呈U形结构排列，防变形固定件设置在检测样片支撑杆的下方；本实用新型对石英舟结构进行优化设计，能够将检测样片竖直放置，防止检测样片向两侧偏倒，避免应力集中对处理效果造成影响，防变形固定件对检测样片支撑杆具有固定约束作用，在检测样片支撑杆热胀冷缩后，可以防止检测样片支撑杆发生变形，导致检测样片损毁及石英舟损伤的现象发生。

基本信息

专利标题：

单晶硅检测样片专用石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022248141.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-10

授权号：

CN213327941U

授权日：

2021-06-01

发明人：

祁海滨冉泽平谢国荣倪浩然李金波王忠保王凯

申请人：

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

曹广涛

优先权：

CN202022248141.9

主分类号：

C30B33/02

IPC分类号：

C30B33/02 G01N1/28