一种用于半导体的集成式纯水装置
授权
摘要
本实用新型属于水处理技术领域，具体涉及一种用于半导体的集成式纯水装置。该用于半导体的集成式纯水装置，包括纯水进水管路、纯水浓水回水管路、去离子水设备和纯水箱，所述纯水进水管路并联有多组第一反渗透装置，并通过纯水产水管路与多组去离子水设备连通，各第一反渗透装置与纯水产水管路之间并联有第二反渗透装置，第二反渗透装置通过纯水浓水回水管路与第一过滤水槽连通，所述各去离子水设备上分别连通有EDI产水管路和EDI浓水回水管路，各EDI产水管路分别与纯水箱连通，各EDI浓水回水管路分别与第二过滤水槽连通。其有益效果是：结构简单，管路布设简单，回收率高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体的集成式纯水装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921801496.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN211056870U
授权日 ：
2020-07-21
发明人 ：
戴梅红张平陈以超肖强严操红
申请人 ：
江苏源邦环境科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区胡埭镇人民西路211号1号车间1-1
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921801496.7
主分类号 ：
C02F9/06
IPC分类号 ：
C02F9/06 C02F103/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C02
水、废水、污水或污泥的处理
C02F
水、废水、污水或污泥的处理
C02F9/00
水、废水或污水的多级处理
C02F9/04
至少有一个化学处理步骤
C02F9/06
电化学处理
法律状态
2020-07-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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