一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置

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摘要

本实用新型公开了一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，涉及离子镀膜技术领域，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有安装孔，密封绝缘件固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆沿轴向作往复运动，波纹管的一端与密封绝缘件的一端固定连接、另一端固定套设于连接杆外并与连接杆形成密封连接，连接杆穿过波纹管与引弧钩固定连接；离子镀膜装置包括真空腔室和上述的离子镀膜用引弧装置。本实用新型中，驱动装置带动引弧钩运动，作用力大，不易粘钩，设置波纹管进行静态密封，真空腔室密封性好、真空不易被破坏。

基本信息

专利标题：

一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921825350.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-28

授权号：

CN210916235U

授权日：

2020-07-03

发明人：

彭建田琳夏虎

申请人：

北京泰科诺科技有限公司

申请人地址：

北京市昌平区崔村镇西辛峰村南6区1号

代理机构：

北京高沃律师事务所

代理人：

赵晓琳

优先权：

CN201921825350.6

主分类号：

C23C14/32

IPC分类号：

C23C14/32