一种水平线显影、蚀刻仓内状态实时监控装置
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摘要
一种水平线显影、蚀刻仓内状态实时监控装置，包括加工装置、摄像装置和控制装置；加工装置内设有显影仓和蚀刻仓，且显影仓内设有显影装置，蚀刻仓内设有蚀刻装置；透明密封门的数目为两组并设置在加工装置上，且一组密封显影仓，另一组密封蚀刻仓；摄像装置的数目为两组，且一组位于显影仓内，另一组位于蚀刻仓内；摄像装置通讯连接控制装置，控制装置控制连接显影装置和蚀刻装置。本实用新型操作简单，方便控制和使用，能够精准观察到板面在显影或蚀刻时的状态，有利于及时调整加工参数，从而达到最佳的工艺状态，加工效果好，并且还便于对摄像装置进行安装和拆卸，安装效率好，安装过程省时省力。
基本信息
专利标题 ：
一种水平线显影、蚀刻仓内状态实时监控装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922030590.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-21
授权号 ：
CN210518624U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
陈海鹏
申请人 ：
天津君林立得电子科技有限公司
申请人地址 ：
天津市武清区豆张庄镇豆张庄村
代理机构 ：
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄娟
优先权 ：
CN201922030590.3
主分类号 ：
H04N7/18
IPC分类号 ：
H04N7/18
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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