本实用新型公开了一种溅射靶材生产用的冷却装置，包括冷却背板、进水管和出水管，所述冷却背板上安装有若干溅射靶材本体，所述冷却背板内部固定嵌设有若干U形管，所述U形管的一端均通过连接管与进水管连接，所述U形管的另一端均通过连接管与出水管连接，所述进水管与第一水泵的输出端连接，所述第一水泵的输入端通过连接管连接有第一冷却池，所述第一冷却池一侧设有第二冷却池。有益效果：能够有效的对用于冷却的水进行冷却，从而能够进行水的循环利用，并且通过设置若干U形管能够大大缩短冷却背板内部管道的长度，使得冷却背板上的溅射靶材本体的冷却更加均匀。