一种平面溅射靶材快速冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种平面溅射靶材快速冷却装置，冷却装置包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及至少一个吹风装置，吹风装置固定在冷却平台的下方，吹风装置的吹风方向朝向冷却平台的底部；冷却平台呈镂空设置，冷却平台包括多个托块，各托块分别沿冷却平台的长度方向间隔设置。与现有技术相比，本实用新型提供了一种开放式的冷却平台装置，工件转移方便，缩短了绑定靶材的冷却时间，提高靶材绑定的速率，降低靶材收缩变形的程度，减少靶材校直工序的工作量，进一步提高了企业的生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种平面溅射靶材快速冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922330056.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211394612U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
郭文明
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN201922330056.4
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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