本实用新型实施例公开了一种酸清洗装置。该酸清洗装置包括：酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面，超声结构，所述超声结构包括超声变幅杆，所述超声变幅杆设置在所述酸洗槽的开口上方，所述超声变幅杆可活动调节以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中，加热装置，设置在所述酸洗槽的下方。本实用新型实施例解决了对化学性质稳定、附着力强的杂质清除困难的问题，实现了增加体系中化学反应速率、缩短酸洗时间、有效去除衬底表面顽固的杂质的效果，并且能够充分利用酸洗液，减少成本的浪费，降低环境保护的负担。