一种VAD沉积炉内压力自动控制系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种VAD沉积炉内压力自动控制系统，其包括反应炉、通过废气排出管连通所述反应炉内部的抽风装置、与所述反应炉连通的新风补风管、设置在所述新风补风管上的新风补风阀、与所述废气排出管连通的抽风补风管、设置在所述抽风补风管上的抽风补风阀、设置在所述反应炉内的压力传感器、以及PLC控制器，所述PLC控制器与所述新风补风阀、所述抽风补风阀以及所述压力传感器电气连接。本实用新型能过精准的、高效的对沉积炉内的压力进行控制，减少压力波动带来的不良影响，提高产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种VAD沉积炉内压力自动控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922181527.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-06
授权号 ：
CN211226915U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
骆金卫李锐王侃
申请人 ：
江苏奥维信亨通光学科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济技术开发区旺家路188号
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN201922181527.X
主分类号 ：
C03B37/014
IPC分类号 ：
C03B37/014 C03B37/018
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B37/00
由软化的玻璃、矿物或渣制的絮片、纤维或细丝的制造或处理
C03B37/01
玻璃纤维或细丝的制造
C03B37/012
拉制纤维或细丝用预制棒的制造
C03B37/014
完全或部分用化学方法制造
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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